第093章 EUV聯盟

　　“古川君？怎麽了？”眾人疑惑的看著他。
　　古川太智說道：“就在剛剛，神州科學院宣布，他們已經突破了極紫外光刻膠生產技術，將開始大規模制造和生產高端光刻膠！”
　　“什麽？”幾大集團的代表猛的站了起來，“這可不是能開玩笑的事情！”
　　“我沒有開玩笑！”古川太智說道，“神州的幾家光刻膠企業宣布，已經獲得技術授權，立刻建造廠房，開始生產！”
　　眾人見他語氣焦急，不像是說假話，立刻查詢資料。
　　很快，他們便看到了新聞消息。
　　“確認消息是真實的嗎？”東京應化集團的代表打電話詢問集團神州區域的總裁。
　　“是真實的，我們已經派人接觸了，他們還專門展示了樣品和相關數據！”對方回復道。
　　“怎麽會這麽快？”會場裏，這些櫻花光刻膠企業的代表們面面相覷，他們停貨才壹個月時間吧？
　　壹個月，他們的技術優勢，產品壟斷，就沒了？
　　就連青木大貴也懵了，要真是這樣，他們豈不是搬起石頭砸了自己的腳？
　　他們剛剛退出神州市場，神州就有了自己的高端光刻膠，這不是白白把市場份額給讓出去嗎？世界上還有這麽蠢的事情？
　　“八嘎！”JSR的代表怒罵道，“這可是壹年百億美金的市場，就因為愚蠢的協議，拱手讓人了？”
　　青木大貴也不敢隨便說話，這些跨國集團的能量也不小，他只能心虛地說道：“也許他們早就突破了這個技術，現在才公布而已。”
　　“不！”古川太智憤怒道，“這完全是妳們的愚蠢協議導致的！”
　　“我得到消息，就因為這件事，神州調集了全國的專家，聯合了上萬家企業壹起研發，所以進度才這麽快！正常情況下，他們絕不可能這麽快突破極紫外光刻膠技術！”
　　聽到古川太智的話，其他代表紛紛對青木大貴怒目而視。他們用了幾十年的時候，和燈國的企業競爭，好不容易奠定了光刻膠國際龍頭的地位，沒想到壹個月之內，就被人趕超！
　　這壹切，都是那什麽“全面合作”協議導致的！
　　“青木君，我們需要壹個解釋！”JSR的代表說道。
　　“我們的損失，是櫻花國的管理者造成的！他必須拿出解決方案！”東京應化的代表說道。
　　“我們集團會發出抗議書的！”富士膠片的代表冷聲說道，他們說的抗議，不是讓員工上街抗議，而是在更高層級的級別博弈。
　　這些大資本和櫻花島管理方有著千絲萬縷的聯系，青木大貴背後冷汗直冒，他知道，自己這壹派，已經得罪了壹個大資本集團！
　　到時候，肯定要有人背鍋，平息他們的怒火，自己很可能成為背鍋俠！
　　“為什麽，這才壹個月啊！”青木大貴心裏在吶喊，這個技術突破再晚幾個月，神州壹定會讓步的，可為什麽會這麽快？
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　　極紫外光刻膠的突破，代表了光刻機和芯片制造最關鍵的材料問題已經解決。
　　同時，盧建業的團隊已經打磨出了極紫外光刻機所需要的“鏡頭”。這玩意在以前，也是花錢都買不到的產品之壹，只有漢斯的蔡司公司才能制造，而現在，神州已經能自己制造了。
　　其他的高端零部件，也在同步制造中。
　　芯片設計上，反而比較簡單。神州本來就能設計出高精密的芯片，只是沒法制造出來。何星舟稍加改進，便完成了3納米制程芯片的設計。
　　現在距離極紫外光刻機制造，以及3納米制程芯片的生產，只剩下最後壹個問題——極紫外光刀！
　　何星舟來到了光電研究所，跟嚴蕊院士的團隊壹起研究。
　　激光研究室裏，嚴蕊正在講述他們遇到的問題：“我們現在是采用氣體噴射的方式用激光轟擊靶材料產生等離子體，等離子體發EUV輻射，EUV輻射經過由周期性多層薄膜反射鏡組成的聚焦系統入射到反射掩模上。射出的EUV光波再通過反射鏡組成的投影系統，將反射掩模上的集成電路的幾何圖形成像到矽片上的光刻膠中，從而形成集成電路所需要的光刻圖形。”
　　“理論上，這個過程沒有問題。”何星舟點點頭。
　　“但問題在於如何在提高EUV光源瓦數的同時，降低等離子氣氛中微粒、高速粒子和其它汙染物。”嚴蕊頭疼道，“不然光源就會迅速惡化。還有，極紫外投影光刻系統使用了反射式掩模。”
　　“我們的EUV掩膜缺陷仍高達ldefect/cm2，檢測機臺的制造水平也要得到進壹步提升。”
　　“檢測機臺的問題，我想盧教授那邊的團隊應該能解決。”何星舟說道，“至於極紫外光源的問題，我想到了壹個解決方案。”
　　“什麽方案？”這群院士和專家們都看著他。
　　何星舟說道：“光源瓦數的提升，可以用電能！”
　　“在高功率激光加熱負載體形成等離子體並且多次反射後，形成了極紫外光源，這個時候，再設計壹個放電反應室，讓等離子體進壹步轉化，輻射出亮度更高，更純凈的極紫外線，如果還有多層反射鏡，EUV的納米刻度會進壹步提升，就有可能滿足3納米制程的要求！”
　　其實這就是解決方案，只不過何星舟說的委婉了壹點。
　　“這樣做我們也設想過！”嚴蕊似乎有點想法了，她問道：“這個電能反應室……”
　　“我有設計圖！”何星舟說道。
　　“真的？！”眾人聽到他這麽說，精神為之壹振，趕緊說道：“讓我們看看！”
　　“去會議室！”何星舟笑道。
　　眾人壹起前往會議室，何星舟呼喚鹿米，讓她打開設計圖紙，並且進行講解。
　　當他講完，全場鴉雀無聲。每個人都在思考和計算。
　　足足過了十分鐘，嚴蕊第壹個站起來，滿心歡喜地說道：“可以！我初步計算，這個方案完全有可能做到我們要求的高亮度極紫外光源！”
　　“對，我的看法也是壹樣！”有壹位老院士站起來，他興奮道：“這個放電反應室，真是神來之筆！光源折射損耗後，電能將等離子轉化，形成新的高能等離子體，不僅沒有光汙染，還讓極紫外線的純凈度進壹步提升，這樣做出來的光刀，只怕能達到世界之最！”
　　“何總工，妳真是個天才，這樣的方案也能想到！”
　　“那還等什麽，我們趕緊去試試吧！”專家們都忍不住了。
　　“這就開始！”何星舟笑道，他知道，這次嘗試必定成功！這可是自己解鎖光刻機技術後，思考和計算了壹個多月，才完成的設計！
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　　燈國，“復仇者聯盟”正在召開大會。
　　這可不是動漫和電影裏的復仇者聯盟，而是由白鷹領頭，組建的EUV光刻機技術聯盟。
　　由英特爾、AMD、摩托羅拉和IBM等業界巨頭，加上隸屬於白鷹的桑迪亞國家實驗室和勞倫斯利弗莫爾國家實驗室組成！
　　除了白鷹有壹個，西方聯盟也有壹個類似的，由三十多個國家，數百個企業組成，全部都是光刻機及芯片的相關產業。
　　風車國的阿斯麥公司能生產出世界上最頂級的極紫外光刻機，就是因為獲得了他們的支持！
　　眼下，因為那“全面合作”協議，白鷹的EUV聯盟和西方聯盟的EUV聯盟開始合作，共同討論“合作細節”。
　　聯盟會長福斯特坐在首席，他是白鷹統領不久前剛任命的，其風格做派要比上壹任強硬許多！
　　與會的成員，全都是來自國際巨頭的代表！可以說，他們這些公司，就代表了全世界最頂級的光刻機、芯片技術！
　　“櫻花那邊向我們提交建議，說極紫外光刻膠技術已經被神州攻克，希望開放極紫外光刻膠市場！”福斯特慢條斯理地說道，“大家有什麽意見？”
　　“不能開放！”第壹個發言的代表就表示反對，他是來自陶氏集團的代表莫爾頓，同樣是世界排名前五的光刻膠企業。
　　他義正言辭地說道：“既然我們達成了合作協議，就要共同進退。今天開放壹個光刻膠，明天又會有人說要開光刻機透射鏡頭、後天又會有人說開放光刻機軸承，這樣下去，我們的合作協議豈不是壹紙空文？”
　　“莫爾頓先生說的不錯。”立刻就有成員支持他的觀點，說道：“光刻機和芯片制造技術，必須牢牢掌控在我們手中，壹個口子也不能打開！”
　　“再者，神州的極紫外光刻膠到底是實驗室產品，還是能量產，現在都沒有定論。萬壹這是他們布置的騙局，我們就上當了！”
　　莫爾頓的意見得到了壹致的支持，福斯特點頭道：“既然這樣，就維持我們的現有措施。”
　　其實對於EUV聯盟來說，他們跟櫻花並不是壹條戰線，當初這個聯盟成立之初，就是為了針對櫻花的半導體行業。
　　所以櫻花的相關行業生死，他們根本不在乎！
　　“關於神州半導體行業的動向，大家應該也都知道了。”福斯特進入下壹個議案。
　　“他們同樣成立了壹個組織，聯合研發光刻機，想要趕超我們！”
　　提到這個，阿斯麥光刻公司的代表海默不屑道：“他們十年之內，是不可能趕超我們！”
　　“我可以這樣說，就算是我們把極紫外光刻機的設計圖交給他們，東方人也制造不出來！”
　　“這是全世界最頂尖的工業技術，他們還差得遠了！”
　　海默說完，在座的代表們都笑起來，臉上還帶著倨傲的神色，很多人的想法跟他壹樣。
　　也有人提醒道：“我們不能放松警惕，過去壹年，他們已經突破了許多技術！”
　　提到這壹點，福斯特臉色冷下來，強調道：“諸位，為什麽他們的技術突破那麽快？”
　　“我們懷疑，可能有壹些成員不遵守規定，泄露了技術資料！”
　　“所以從今天開始，所有成員之間的高端設備和技術轉移，都要提交給聯盟審核，禁制私下交易！”
　　之前就有審核，這次是加大力度，保證不會出現技術泄密。
　　對於這壹點，所有成員壹致贊同，只有技術壟斷，才能讓他們源源不斷的賺大錢！
　　又有高通公司的代表提問道：“我們現在不在東方出售高端芯片，對我們的公司損害極大，我們到底什麽時候能開發出售？”
　　“是啊，我們的計算機芯片市場也受到了嚴重影響！”英特爾、IBM和AMD等公司的代表也坐不住了。
　　福斯特示意眾人安靜，說道：“這也是今天我們在這裏開會的原因。”
　　“會議之前，我已經跟阿斯麥公司交流過了，他們正在設計3納米制程的新壹代極紫外光刻機。”
　　“我們需要合作起來，幫助他們盡早拿出成熟的3納米制程技術的光刻機和更高級的光刻機，我們的芯片技術提升壹級，就能開放壹級的芯片。”
　　“而且最近東方的壓力很大，他們很快就會做出讓步，大家將獲得的，比現在損失的更多！”
　　眾人互相交流，發表意見，最終，初步達成了壹致，這麽多企業和機構再次聯手，幫助阿斯麥突破更高級的光刻機技術。
　　阿斯麥公司的代表海默更是興奮的在會議上表示：“兩年之內，有各位的幫助，壹年之內，我們保證交付成熟的，擁有3納米制程技術的新壹代極紫外光刻機！”
　　“好！”福斯特非常高興，這樣壹來，他也能跟上面交差了。
　　而且壹上任，就做出這麽大的成績，前途無量啊！
　　他對海默祝願道：“希望妳們能早日完成目標，EUV聯盟，是妳們最強大的後盾！”
　　他心中暗想，等那個時候，那些東方人，壹定會感受到絕望吧！
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　　在EUV聯盟會議落幕時，神州，西北光電技術研究所。
　　何星舟、嚴蕊等人正在測試他們的極紫外光源。
　　他之前設計的放電反應室已經被制造出來，與激光發射器進行鏈接，中間還有各種反射鏡頭，組成了極紫外光光刀生成器。
　　“第壹次測試，發射激光！”實驗室裏，嚴蕊仔細的看著儀器，下達實驗命令。